MEMS代表微机电系统。这些是一组设备，这些设备的特性可以通过其微小的尺寸和设计模式来实现。这些传感器的设计可以使用1-100微米的组件来完成。在集成微电子设备的控制下，这些设备可以从小型结构到非常困难的机电系统，其移动部件很多，而移动部件可能有所不同。通常，这些传感器在一个封装中包括机械微致动器，微结构，微电子学和微传感器。本文讨论什么是MEMS传感器，其工作原理，优点及其应用

一、什么是MEMS传感器？

MEMS传感器是一种低成本，高精度的惯性传感器，可用于多种工业应用。该传感器使用一种称为微机电系统的基于芯片的技术。这些传感器用于检测和测量外部刺激（例如压力），之后它会通过一些机械作用对压力做出响应，该压力就是测得的压力。最好的例子主要涉及电动机的旋转以补偿压力变化。

MEMS IC的制造可以用硅来完成，然后以其他方式放置少量的材料层并将其固定在Si衬底上。然后，将其选择性地固定，从而留下微小的3D结构，例如膜片，横梁，杠杆，弹簧和齿轮。

MEMS制造需要许多技术，这些技术用于构造其他半导体电路，例如氧化工艺，扩散工艺，离子注入工艺，低压化学气相沉积工艺，溅射等。此外，这些传感器还使用诸如微机械加工的特定工艺。

二、MEMS传感器的工作原理

每当向MEMS传感器施加倾斜时，平衡质量就会产生电位差。可以像测量电容变化一样进行测量。然后可以更改此信号以创建稳定的数字，4-20mA或VDC输出信号。这些传感器是不需要最高精度的应用的理想解决方案，例如工业自动化，位置控制，侧倾和俯仰测量以及平台调平。

三、MEMS传感器的类型

1.市场上常见的MEMS传感器类型为：

2.MEMS加速度计

3.MEMS陀螺仪

4.MEMS压力传感器

5.MEMS磁场传感器

四、MEMS传感器的优点

1.MEMS的制造就像低成本大规模生产一样，是半导体IC的制造，并且一致性对于MEMS器件也必不可少。

2.传感器子组件的尺寸将在1到100微米的范围内，而MEMS设备的尺寸将在20微米到毫米的范围内。

3.功耗非常低。

4.易于集成到系统中或进行更改

5.热常数小

6.这些可能会强烈抵抗冲击，辐射和振动。

7.更好的热显影耐受性

8.并行性

五、MEMS传感器的应用

MEMS传感器用于不同领域，包括汽车，消费，工业，军事，生物技术，太空探索和商业用途，包括喷墨打印机，现代汽车中的加速度计，消费电子产品，个人计算机等。

MEMS设备的最佳示例主要包括自适应光学器件，光学交叉连接，安全气囊加速度计，电视和显示器的反射镜阵列，可操纵的微镜，RF MEMS设备，不可重复使用的医疗设备等。

因此，所有这些都与MEMS传感器有关。这些传感器的主要缺点是每个零件的制造成本都非常低。但是，在设计，制造和成功开发基于MEMS的产品时将有一笔巨大的投资。因此，设计人员不太可能扩展小批量应用中使用的组件。

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